第858章 第五大发明</p>
轻快的脚步声回响在中关村科技大楼五楼，陈春仙实在无法抑制自己的情绪，空气中倘若有一个旋律传来，他便能翩翩起舞。</p>
受他影响，李建昆也有种哼小曲的冲动。</p>
咔咔！</p>
特制的实木大门被推开，陈春仙领着李建昆走进一间秘密中的秘地。</p>
目前除了这层不对外开放的楼层内、签署过保密协议的工作人员外，无人知晓，此地静静“躺”着一个世界第一。</p>
“看！”</p>
陈春仙激动抬手：“四代光刻机！”</p>
纯白色调的房间居中，有一台体积不小的机器，规模是华夏硅谷公司一年前出品的三代光刻机的近两倍，像一间小房子。</p>
三代光刻机叫作“扫描投影式光刻机”。</p>
这小子说懵的……</p>
那么，老陈说这是全世界第一台第四代光刻机，大抵上没毛病。</p>
直到第五代EUV光刻机的问世。</p>
不在技术上有革命性的创新，无法突破。</p>
在前世，它统治这个领域的时间接近三十年。</p>
反之，如果没有这道灵光乍现，一个小小的问题，或将困住一个科学家一生。</p>
“华夏硅谷公司没启动光刻机项目之前，我国的光刻机水平，距离世界领先，大约有五年时间。”</p>
老陈扬起嘴角：“甩他们二里地，其实，也没那么难。”</p>
四代尽管只多两个字“进步”——进步扫描投影式光刻机，但它却是最具代表性的光刻机产品。</p>
“牛！”</p>
这台光刻机已超出李建昆这个键盘侠，能够看懂的极限，他只能通过键盘侠的知识来判断，如果达到了这种最小工艺，那么它确实是台正儿八经的四代光刻机。</p>
科学研究，许多时候关键性的进展都来自于灵光乍现，好像被苹果砸中后的牛顿，悟出万有引力。</p>
李建昆却知道，这一年来，老陈回家过夜的次数，不超过十次。</p>
你猜怎么着？</p>
陈春仙不是没问过他咋想到的。</p>
“我说过，再给我一年时间，我必定赶上他们。”</p>
暂时没有消息。</p>
可行！</p>
要知道，他家没几步路，从科院离职后，置了套宅子，就在中关村。</p>
他们在研发第四代光刻机时，对于怎么样来突破三代光刻机的桎梏，一筹莫展之际，是建昆提醒：尝试使用一下193nmArF激光光源。</p>
三代光刻机的最小工艺极限是130nm。</p>
坦率讲，陈春仙怀疑过，他可能是外星人……</p>
“别别别。”李建昆怕他又问东问西，赶紧岔开话题，绕着四代光刻机一边转着圈圈，一边作了解。</p>
建昆给他们的还不是灵光乍现，而是或许唯一的标准答案。</p>
不过，他似乎真没觉得辛苦、劳累，全身心投入，乐在其中。</p>
“不。”李建昆说，“你超越了他们。”</p>
李建昆递给老陈一個大拇哥，得亏他有点心理准备，始终关注着华夏硅谷公司这边光刻机的研发进度，否则陡然得知这个消息，难免要一蹦老高。</p>
陈春仙当时极其惊诧，没想到建昆连激光都懂。</p>
“最小工艺推进到了多少？”</p>
我信你个鬼！反正吧，陈春仙发觉他越来越看不穿建昆，这人根本无法用言语来度量——</p>
只有老天爷才知道，彼时实验室里，包括他在内的所有研究人员的震惊。</p>
反正没有头绪嘛，抱着试一下的心态，他们听取建议，使用上193nmArF激光光源。</p>
李建昆早评价过，老陈是一位难得的科研天才，却不适合做一名企业家，实验室才是他的领域和地盘，他的乐土。</p>
“这台机子虽然是我带着团队干出来的，但我不敢说是我创造了它，建昆，首功还得颁给你呀。”</p>
陈春仙的表情颇有些复杂。</p>
“80nm。”</p>
阿麦斯是八十年代哪一年推出的第四代光刻机，李建昆脑子里没有精确的信息，可以肯定的一点是：</p>
老陈单手叉腰说：</p>
“去年，我们制造出第三代光刻机，就技术层级来讲，已经和世界领先持平，仅仅是在尖儿尖儿上，有那么一丁点落后。</p>
这个逼他要装，只能给他装去……</p>
不似人类。</p>
在此之前，无论光刻机技术如何发展，都是在第四代的基础上不断精进。</p>
良久，二人又站在一起。</p>
陈春仙问：“现在要公开吗？”</p>
他有些顾忌。</p>
就公司、个人和团队而言，他当然希望公开，那会收获无与伦比的荣誉。</p>
但他又担心公开之后，引起某些国家的嫉妒和不满，从而产生一系列的连锁反应，比如在涉及光刻机的相关产业，实施更严苛的技术禁运——</p>
建昆在特区搞芯片全产业链，这与他还息息相关。</p>
“你以为我们不刺激他们，他们就不搞我们了？某些宵小亡我中华之心，始终不死。”</p>
李建昆抬起右手，用力握成拳头。</p>
“只有强者才有尊严和权利。”</p>
“公开！”</p>
陈春仙咧嘴笑道：“就喜欢你小子身上这股天不怕地不怕的劲头。”</p>
一日后，一份标题为“我司制造出第四代光刻机，技术水平达到世界第一”的文件，递交到科协。</p>
……</p>
……</p>
中关村科技大楼张灯结彩。</p>
一楼大门头上，拉起一条大横幅，上书大字——</p>
【热烈欢迎科协及上级领导莅临参观和指导】。</p>
上午十时许，六辆由吉普212、桑塔纳和红旗组成的车队，在大楼门外停下。</p>
李建昆和陈春仙作为华夏硅谷公司的两位创始人，来到门口迎接。</p>
领导们比他俩还热情，夸奖表扬声不断。</p>
来到五楼，当看到第四代光刻机实机后，科协领头的周主任，连说了三声“好”。</p>