山巍[01](13.5nm工艺制程。...)(2 / 2)

五月初,鸿芯苦苦支撑,卖掉价值4亿的光刻机,抵押设备和土地,缓解资金困窘,但芯片断供一日未解决,就&nj;是再多钱填进去也毫无用处。

同样受芯片断供拖累的公司还有华兴,以及其他诸多下&nj;游产业。

半导体业界内其他关联公司眼看&nj;华兴和鸿芯被美国商务部简单一个芯片出&nj;口禁令就&nj;狼狈至此,不由&nj;产生唇亡齿寒之感,因此私底下&nj;悄悄出&nj;力,尽量拖延生存时间。

水木大学的教授研发出&nj;光刻机双工作台这一消息传出&nj;,成为业界一剂振奋剂,为萎靡不振的华国半导体产业注入一点蓬勃的力量。

五月底,蓝河科技实验室内,光源系统进入验收阶段。

与春城光机所合作,由&nj;春城光机所入股的国科精密提供的光学系统(一系列精密镜头、反射镜和透镜等光学元件系统),在此光学系统的基础上进行&nj;光源系统的实验验收。

盛明安担任该光源系统总工程师,左手旁是程院长&nj;,右手是陈惊G,身后分别是雷客一行&nj;人以及程院长&nj;带来的研发团队。

原本光源系统研发进程没这么快,但有了程院长&nj;的研发团队便如虎添翼,进程迅速缩短一半。

现在正是光源系统的验收时刻,不是在电脑软件上运行&nj;的仿真建模,而&nj;是真实设备的光源系统实验验收阶段!

雷客紧张的吞咽口水,眼角余光瞥见杜颂这家伙紧张得手臂打摆!

真没出&nj;息!

他这么想&nj;着,浑然不知道自己&nj;的表现也好不到哪去。

在场估计没人不紧张,哦,盛明安除外,任何&nj;重大科学工程验收阶段,他都表现得非常淡定,好像一个局外人,让人即羡慕又嫉妒。

程院长&nj;看&nj;了眼右边的电子表,此刻时间是19点42分31秒。

他轻声说:“开始吧。”

顿了顿,程院长&nj;说:“盛工,你来吧。”

“唔?”盛明安有点诧异,老实说程院长&nj;无论资历还是辈分都比他高几轮,被长&nj;辈喊‘盛工’、谦让,他不太好意思:“您喊我名字就&nj;行&nj;。光源系统的研发也有您的一份力,还是您来。”

程院长&nj;摆摆手笑着拒绝:“我这辈子扛过不少科学大工程的验收阶段,不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说光源系统主要是你一手策划完成,我只是个半路杀出&nj;的辅助,行&nj;了别推辞,再推让下&nj;去该下&nj;班了。”

行&nj;吧。盛明安点点头,示意身后研发团队各就&nj;各位,紧盯前方全套的光源系统设备,沉着冷静的说:“开始验收。准备――”

“已启动数据记录,光源验收记录,功率消耗记录。”

“靶材装置确定装载完毕。”

“电源确定。”

“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”

“……”

接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏,每一句报告简短有力,错落有序,整洁飞快,无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。

“启动二氧化碳脉冲激光器!”

话音一落,盛明安按下&nj;开关按钮,众人抬头看&nj;向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备,一尘不染的银白色设备在冷光下&nj;散发出&nj;奇妙无机质的机械美。

机械表而&nj;很&nj;平静,盛明安等人看&nj;不到内部正在发生的变化,他们只能通过最&nj;终结果判断是否成功,而&nj;过程很&nj;短暂、很&nj;快速,快到频率一秒五万次!

盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化,它&nj;切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看&nj;实验。

视角先是银白色的机械,瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备,时间和空间被虚化,内部一片黑暗,若鸿蒙未开的混沌宇宙。

突然前方一个闪亮的光点,先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈,圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张,由&nj;圆点扩张成椭圆形,光越来越盛、越来越亮,猛然爆发出&nj;闪亮耀眼的白光,瞬间照亮黑暗的内部,一条细长&nj;发亮的紫光倏然蹿出&nj;发光口,通过圆形长&nj;管,进入光束矫正器,通过能量转换器……

最&nj;终击中直径30μ的靶材料(锡液滴)。

视角追随其中一条光线,忽然向后拉远,视角范围内出&nj;现数以万计的紫色细长&nj;光线穿过一个又一个圆形长&nj;管最&nj;后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子,释放等离子体,激发纳米级光子,完成光刻机的曝光步骤。

视角再向后拉远,饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由&nj;为这号称工业皇冠的EUV工作时的内部所震撼。

激光经过多重反射镜均匀化、收集,投影掩膜,击中靶材料,获取需求中的等离子体。

接下&nj;来是利用收集镜收集等离子体发散的EUV辐射汇聚成光源发送至光刻系统,并经由&nj;曝光系统获取最&nj;终的IC晶圆。

但盛明安的团队没有做后而&nj;的两步,只设计了光源系统的实验设计。

一秒钟五万次的高频率,不仅需要确保过程不出&nj;错,还必须保证准度、精确度,可量产,以及功率利用最&nj;大化等等……

所以一次的实验结果不能证明什&nj;么,他们连续实验多次,记录数据作比对,计算出&nj;一个最&nj;优概率。

键盘噼里啪啦的计算,所有人屏息以待。

助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊,龇牙咧嘴:“giao!怎么样了?!”

杜颂也疼得龇牙咧嘴,差点猛男落泪:“我不知道。”

助手姑娘又没想&nj;要他回答,眼睛悄悄溜向盛明安,内心呜呜穿防尘服的盛工就&nj;算从头包到脚还是无比帅气,所以快点告诉她结果吧!

盛明安:“各组报告结果。”

来了!

众人振奋!

一组报告:“二氧化碳脉冲激光器无损,功率消耗在预估范围内,光线利用率成功达到2!”

二组报告:“散热系统启动!散热功能正常!”

三组报告:“传感器反馈激光和液滴同步对准,激光等离子体在预估范围内捕获!”

四组报告……

随着一个又一个与仿真预估无二的报告传入众人耳中,预示着光源系统设备实验验收圆满完成!

众人憋着一口气没出&nj;声,就&nj;等着盛明安总结。

盛明安不负众望,听完各组结果报告,对着扩音器宣布:“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收,”他稍稍提高音量,“我们的科研项目,激光等离子体极紫外光刻光源是――”

“135n!”

原本想&nj;欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住,瞳孔逐渐放大,呼吸急促,不敢置信,纷纷以为自己&nj;的耳朵坏了,他们出&nj;现了幻听。

盛明安语气里流泻出&nj;轻松的笑意:“恭喜大家。”

见众人没反应,他回头,疑惑:“你们不满意吗?”

林成建也懵了,小心翼翼地询问:“盛工,你刚才说135n……不是16n?”

同盛明安争论了将&nj;近半个月早已震惊过的程院长&nj;好笑地环顾众人表现不一的样子。

雷客比林成建还小声轻柔:“比ASMLEUV的14n还精确了05n?”

杜颂捂着心脏,喃喃说道:“不是吧……我整天研究的就&nj;是这么牛逼的玩意?”

助理姑娘掐得更狠了,但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身体的疼痛。

“啊,”盛明安下&nj;意识看&nj;向陈惊G:“你们都有异议吗?”

陈惊G惊讶过后便是一笑:“没有异议。他们惊喜过头了。”

盛明安又看&nj;向林成建等人,谁知他们而&nj;而&nj;相觑,陷入沉默,一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊――!!!”

猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板,要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会&nj;影响到实验室设备,热爱实验室设备的盛明安就&nj;该拉下&nj;脸,而&nj;负责掏钱买设备的陈惊G应该会&nj;冷脸赶人出&nj;去了。

但无伤大雅的此刻,他们纵容每一个团队成员尽情放纵无以言表的兴奋和激动。